UVLED 结构
时间:2021-07-12 09:32来源:未知点击: 次
UVLED(UVLED)是由一个或多个
InGaN量子阱夹在较薄的
GaN三明治结构之间组成,形成的有源区为包覆层。 通过改变
InGaN量子阱中InN-GaN的相对比例,发射波长可以从紫光变为其他光。
AlGaN可以通过改变
AlN比例来制作
UVLED和
量子阱层中的包层,但这些器件的效率和成熟度较差。 如果活性
量子阱层为GaN,则与InGaN或
AlGaN合金相反,器件发射的光谱范围为350~370nm。
当 LED 泵上的
蓝色InGaN 短电子脉冲时,产生UV辐射。 含铝氮化物,尤其是
AlGaN和
AlGaInN可用于制造较短波长的器件,获得一系列
UVLED的波长。 波长高达247nm的二极管已经商品化,能够发射210nmUV的基于
氮化铝的LED已经研制成功,250-270nm波段的
UVLED也在大力发展。
III-
V族金属氮化物基半导体非常适合制作UV辐射源。 以
AlGaInN为例,在室温下,随着各组分比例的变化,复合时电子和空穴辐射的能量为1.89~6.2eV。 如果LED的有源层纯粹由GaN或
AlGaN组成,其UV辐射效率很低,因为电子与空穴的复合是非辐射复合。 如果在该层中掺杂少量金属 In,则有源层的局部能级会发生变化。 此时,电子和空穴将发生辐射复合。 因此,当有源层掺杂金属铟时,380nm处的辐射效率比未掺杂的高约19倍。
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UVLED AlGaN AlGaInN 量子阱层 蓝色InGaN AlGaN合金 InGaN量子阱 氮化铝